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這些有關(guān)PECVD系統(tǒng)的特點(diǎn)，您知道幾點(diǎn)？

PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積反應(yīng)溫度降低，普通CVD設(shè)備的沉積溫度大多在900℃左右，而在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，可以使化學(xué)氣相沉積的溫度降到400℃左右，所以這個(gè)系統(tǒng)稱為增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。PECVD綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)，觸摸屏集中一鍵控制，實(shí)驗(yàn)證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了自主研發(fā)的實(shí)驗(yàn)電爐AIO全自動(dòng)智能控制系統(tǒng)，...

在使用管式電爐的時(shí)候要注意石英管的維護(hù)

管式電爐的爐管是其重要的關(guān)鍵的部件，也是生產(chǎn)試驗(yàn)過程中的反應(yīng)場(chǎng)所，工作區(qū)域。并且爐管與氣體，壓力及操作方法都有直接關(guān)系。因此管式電爐用過程中一定要注意石英管的使用和維護(hù)：1、石英管軟化的軟化點(diǎn)，持續(xù)限值不宜使用過長。2、石英管的耐溫度與其純度有關(guān)系，純度越高，耐溫就越高。3、保持爐管內(nèi)清潔衛(wèi)生，爐管內(nèi)不能殘留與SiO2反應(yīng)的物質(zhì)，燒物料時(shí)，為了使?fàn)t管的使用壽命更長，不要直接把物料放在爐管上，用舟型坩堝盛著。4、加熱時(shí)爐管內(nèi)請(qǐng)務(wù)必放陶瓷爐塞，否則爐管兩端溫度較高，法蘭里的O型圈...

使用氣氛管式爐要注意的八大事項(xiàng)，一起了解吧

氣氛管式爐是在某一既定溫度下，向滬內(nèi)通入成分的人工制鋒氣氛，以達(dá)到某種熱處理的目的，如氣體滲碳，破氛共沙及光亮沖火，退火，E火等。為了控制中內(nèi)的氣部，維持沖內(nèi)的壓力，爐內(nèi)工空間讎含要與外界空氣隔絕，盡量避免凋氣和吸入空氣，故要求爐完。硯體，爐門及所有外界連接零件﹔名種氣氛嚀的密封性受求高，裝，出料操作過程復(fù)雜，要求一臺(tái)爐子多用，大批量生產(chǎn)時(shí)，多組或大型聯(lián)合較處理或者兩用以上的機(jī)組，因而要求有較高的機(jī)械化，自動(dòng)化程度。使用氣氛管式爐要注意以下內(nèi)容:1、可控氣氛爐所使用的液化氣體...

管式爐的抽真空操作該如何去做？這篇文章告訴你

管式爐具有操作簡(jiǎn)單、保溫效果好、控溫精度高、溫度范圍大以及可通氣氛等特點(diǎn)，主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，應(yīng)用于高、中、低溫CVD工藝，如碳納米管的研制，晶體硅基板鍍膜，金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。在使用過程中，因操作不當(dāng)?shù)囊蛩兀苋菀讓?dǎo)致設(shè)備出現(xiàn)真空度不高的情況，從而影響設(shè)備的使用效率，無法達(dá)到使用標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)此，我們應(yīng)該如何進(jìn)行抽真空操作，從而保證設(shè)備的使用。然而為了節(jié)約成本，我們根據(jù)抽真空的目的是排除氧氣，我們可以向管式爐內(nèi)部充入氮?dú)?、氬氣等惰性氣體，...

氣氛管式爐的五大基本要求一文詳細(xì)了解下吧

氣氛管式爐主要作用于物體的燒結(jié)，而在制品的燒結(jié)過程中可控氣氛爐能夠有效地提高制品的致密化程度從而獲得良好的性能制品。適用于電子陶瓷與高溫結(jié)構(gòu)陶瓷的燒結(jié)、玻璃的退火與微晶化、晶體的退火、陶瓷釉料制備、粉末冶金、納米材料的燒結(jié)、金屬零件淬火及一切需快速升溫工藝要求的熱處理，是科研單位、高等院校、工礦企業(yè)理想的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)設(shè)備。氣氛管式爐的注意加熱材質(zhì)：使用者要注意加熱制品的材質(zhì)構(gòu)成，而含有銅、鋁、鋅等元素的材質(zhì)與設(shè)備加熱元件接觸會(huì)與產(chǎn)品發(fā)生反應(yīng)。因此，無論制品是細(xì)粉、熔液或蒸汽等，...

真空管式氣氛爐的常見故障與處理方法

真空管式氣氛爐如果長時(shí)間不使用或者用的年數(shù)多了，難免會(huì)出現(xiàn)一些故障，下面簡(jiǎn)單介紹一下真空爐常見的故障，與對(duì)應(yīng)的處理方法。一、電器故障（一）溫度異常，包括溫度過高報(bào)警、或顯示溫度達(dá)不到設(shè)定值。（1）溫度過高報(bào)警故障解除方法：1．首先檢查所在工作區(qū)溫控器參數(shù)是否正常，參考其他正常使用中的溫控器校對(duì)所有參數(shù)。2．根據(jù)電路圖檢查相應(yīng)工作區(qū)的固態(tài)繼電器輸出端是否被擊穿，具本方法：停電后，用萬用表電阻檔測(cè)量固態(tài)繼電器輸出端兩點(diǎn)之間的電阻，正常時(shí)，電阻會(huì)有幾兆歐以上，如果被擊穿，則幾乎沒有...

旋轉(zhuǎn)管式爐的爐型需要按照自身的熱負(fù)荷大小來

旋轉(zhuǎn)管式爐采用的是國際上比較先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù)研發(fā)制作而成的，節(jié)能性能非常的高。管式爐的應(yīng)用范圍非常的多，在工礦企業(yè)、大專院校和一些科研院所都有的應(yīng)用實(shí)例。此外，管式爐的特點(diǎn)更是為它贏得了*。管式爐的操作十分簡(jiǎn)單，有著良好的保溫性能。溫控精度非常的高。既然旋轉(zhuǎn)管式爐有著這么多的應(yīng)用和優(yōu)點(diǎn)，管式爐的爐型該怎樣選擇呢?管式爐的爐型需要按照自身的熱負(fù)荷大小來決定。小編為您總結(jié)歸納了管式爐爐型選擇指標(biāo)，希望對(duì)您有用，具體如下：1、如果管式爐的工作負(fù)荷低于一萬的瓦的時(shí)候，輻射型的管式爐合適...

一定要注意這些高溫管式爐的注意事項(xiàng)

高溫管式爐具有多達(dá)32段升溫程序功能，只需開通電源設(shè)置程序，機(jī)器即自動(dòng)工作，工作完畢自動(dòng)關(guān)機(jī)；儀器操作方便，升溫速度快，升溫速度可調(diào)，外形輕巧。高溫管式爐主要用途：廣泛用于陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機(jī)械、耐火材料、新材料開發(fā)、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業(yè)做粉末焙燒、陶瓷燒結(jié)、高溫實(shí)驗(yàn)、材料處理、質(zhì)量檢測(cè)之用。除了做實(shí)驗(yàn)外，不要停留在高溫爐管區(qū)。實(shí)驗(yàn)工作完畢時(shí)，若無人繼續(xù)使用，請(qǐng)關(guān)特殊氣體，保留N2流動(dòng)，爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關(guān)而沒...